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Q105.

下列有關掃描式電子顯微鏡的電子槍敘述,何者正確?

化學─無機物檢驗 · 甲級 · 無機微量分析 · Q105

難易度分析

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需了解熱發射型電子槍的低功函數、高熔點及高機械強度要求,以及冷場發射型與蕭基場發射型的特點。題目包含若干錯誤說法,考驗對各類型實際操作條件與材質的正確把握,故屬一般難度。

正確答案:①一般電子槍材料須考量低功函數、高熔點、高機械強度

① 一般電子槍材料須考量低功函數、高熔點、高機械強度:掃描式電子顯微鏡(SEM)的電子槍材料選擇確實需考量低功函數(利於電子發射)、高熔點(承受高溫操作)及高機械強度(維持結構穩定性),此為熱發射型電子槍(如鎢絲陰極)的基本材料要求。

錯誤選項解析

  • ② 冷發式的電子槍中的陰極半徑大,能量散佈大:冷場發射式(Cold FE)電子槍的陰極為極細的鎢單晶尖端(半徑約數十奈米),並非半徑大;其能量散佈小(約0.2~0.3 eV),具有高亮度與高同調性的優點。
  • ③ 冷發式的電子槍電子束聚焦小,工作溫度高:冷場發射式電子槍的電子束聚焦確實小(光源尺寸小),但其工作溫度為室溫,不需加熱;需高溫操作的是蕭基場發射式(Schottky FE)(約1800 K)。
  • ④ 蕭基場發射式電子槍為提升功函數,在鎢絲表面鍍上一層ZnO:蕭基場發射式電子槍是在鎢絲尖端鍍上氧化鋯(ZrO)以降低功函數(非提升),並藉熱輔助效應提升發射穩定性,ZnO並非常用鍍膜材料。
Learning Tip

"SEM電子槍三大類型(熱發射鎢絲、冷場發射、蕭基場發射)的特性比較為常考重點:熱發射亮度低但成本低、冷場發射亮度最高但真空要求極高、蕭基場發射則兼具穩定性與亮度。注意功函數降低利於電子發射,勿與能量散佈概念混淆。"

學員答題分佈

①一般電子槍材料須考量低功函數、高熔點、高機械強度0%
②冷發式的電子槍中的陰極半徑大,能量散佈大0%
③冷發式的電子槍電子束聚焦小,工作溫度高0%
④蕭基場發射式電子槍為提升功函數,在鎢絲表面鍍上一層ZnO0%

此答題分佈是根據學員在 LongePass 模擬考等實際作答紀錄計算而成。與考友分享這道歷屆試題與詳細解析!

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