Q37.
擴散型壓力感測器的特點，下列哪些敘述正確？
儀表電子 · 甲級 · 感測器原理與應用 · Q37
難易度分析
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題目為多選，需判斷兩項符合事實的敘述。選項設置了成本與靈敏度相反的說法，對於只掌握基本概念的考生具有一定困難，故評為中等。
正確答案 (複選)：①, ③
- ① 使用IC 製造:擴散型壓力感測器採用半導體 IC 製程技術（如擴散、光刻等）在矽基板上製造壓阻元件，屬於微機電系統（MEMS）的標準工藝。
- ③ 容易大量製造:利用半導體晶圓級製程，可在同一片晶圓上同時光刻數百個感測器晶片，具備高度一致性及大規模量產優勢。
錯誤選項解析
- ② 成本比較高:此敘述錯誤。由於採用IC 批量製程，擴散型壓力感測器可於單一晶圓上同時製作多個元件，單位成本反而較低，屬於低成本量產方案。
- ④ 輸出電壓比接著型壓力感測器小:此敘述錯誤。擴散型壓力感測器的壓阻元件直接形成於矽薄膜內部，應變傳遞效率優於接著型（黏貼式），因此輸出電壓通常更大，靈敏度更高。
Learning Tip
"此類題型常考擴散型與接著型（黏貼式）壓力感測器的製程與特性差異。關鍵在於：擴散型採用 IC 製程，具備低成本、易量產、高靈敏度三大優勢；而接著型需人工黏貼應變規，一致性較差且成本較高。實務上擴散型已廣泛應用於汽車 MAP 感測器與工業壓力變送器。"
學員答題分佈
①使用IC 製造0%
②成本比較高0%
③容易大量製造0%
④輸出電壓比接著型壓力感測器小0%
此答題分佈是根據學員在 LongePass 模擬考等實際作答紀錄計算而成。與考友分享這道歷屆試題與詳細解析！